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웨이퍼 표면 결함 고해상도 검사
DTCM 매트릭스 양측 텔레센트릭 렌즈와 20MP 카메라로 12인치 웨이퍼의 스크래치와 에지 칩핑을 안정적으로 검출합니다.
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